Is éard atá i gcóras bhfolús ná socrú casta de chomhpháirteanna atá deartha chun timpeallacht rialaithe a chruthú agus a chothabháil le leibhéil laghdaithe brú faoi bhrú an atmaisféir. Tá feidhm ag na córais seo i raon leathan tionscal, ó thaighde eolaíoch agus déantúsaíocht go leictreonaic agus taiscéalaíocht spáis. Tá sé ríthábhachtach tuiscint a fháil ar an gcaoi a bhfeidhmíonn córas folúis agus na príomhchodanna a bhaineann leis chun a fheidhmeanna éagsúla agus a thábhacht i réimsí éagsúla a thuiscint.
Feidhmiú an Chórais Fholúis:
Ag a chroílár, oibríonn córas folúis trí mhóilíní gáis a bhaint as spás sainithe, rud a laghdaíonn an brú agus cruthaítear timpeallacht rialaithe ísealbhrú. Baintear é seo amach trí shraith comhpháirteanna idirnasctha a oibríonn le chéile chun an leibhéal folúis atá ag teastáil a chruthú, a rialú agus a chothabháil. Is é an bunphrionsabal ná grádán brú a chruthú a ligeann do mhóilíní gáis bogadh ó réigiún brú níos airde go réigiún brú níos ísle, rud a fhágann go dtiocfaidh aslonnú an chórais ar deireadh thiar.
Caidéal Fholúis: Is é an caidéal folúis croí an chórais, atá freagrach as móilíní gáis a bhaint as an gcóras. Tá cineálacha éagsúla caidéal folúis ann, gach ceann acu ag freastal ar raonta brú agus feidhmeanna éagsúla. I measc na gcineálacha coitianta tá:
Caidéil Díláithrithe Dearfach: Ina measc seo tá caidéil eite rothlacha agus caidéil loine, a dhéanann gais fisiciúil agus móilíní gáis sceite.
Caidéil Aistrithe Móiminteam: Samplaí is ea caidéil idirleata agus caidéil turbomolecular, a úsáideann rothlú ardluais chun móilíní gáis a thiomáint amach as an gcóras.
Caidéil Iontrála: Is cryopumps agus caidéil sorption iad seo a ghlacann móilíní gáis ar dhromchlaí fuara nó ábhair asaithe.
Seomra Fholúis: Is é an seomra folúis an spás faoi iamh ina dtarlaíonn an laghdú brú. Tá sé deartha chun an difreálach brú a sheasamh agus tá sé feistithe le calafoirt chun an caidéal folúis, tomhasairí agus comhpháirteanna eile a nascadh.
Tomhas agus Rialú Brú: Tá tomhas cruinn brú riachtanach chun an leibhéal folúis a rialú agus a chothabháil. Úsáidtear tomhasairí brú ar nós tomhasairí Pirani, tomhasairí ianúcháin, agus manometers toilleas chun monatóireacht a dhéanamh ar bhrú. Rialaíonn córais rialaithe an luas caidéil agus an sreabhadh gáis chun an raon brú atá ag teastáil a bhaint amach.
Comhlaí: Cuirtear comhlaí go straitéiseach sa chóras chun sreabhadh gáis a rialú, codanna éagsúla den chóras a leithlisiú, agus cothabháil a chumasú. Úsáidtear comhlaí geata, comhlaí féileacán, agus comhlaí liathróid go coitianta chun sreabhadh gáis a ionramháil.
Calafoirt Ionraonta agus Asraonta Gáis: Éascaíonn na calafoirt seo tabhairt isteach gáis isteach sa chóras le haghaidh próisis amhail sputtering, sil-leagan ceimiceach gaile, agus ionchlannú ian. Ligeann siad freisin do aeráil rialaithe an chórais.
Scagairí agus Gaistí: Úsáidtear scagairí agus gaistí chun cáithníní, leachtanna agus gáis nach dteastaíonn a ghabháil agus a bhaint as an bhfolúschóras. Cuireann gaistí fuara, rilleáin mhóilíneacha, agus scagairí cáithníní cosc ar éilleáin dul isteach sa seomra folúis.
Rónta agus Gaiscéid: Chun sláine na timpeallachta folúis a chothabháil, úsáidtear rónta agus gaiscéid ardchaighdeáin ag pointí nasctha éagsúla. Coscann siad seo sceitheadh gáis agus coinníonn siad an grádán brú.
Caidéal Tacaíochta: I roinnt córas folúis, úsáidtear caidéal taca chun cabhrú leis an bhfolúschaidéal príomhúil trí mhéideanna gáis níos mó a láimhseáil ag brúnna níos airde. Cuidíonn sé seo le héifeachtúlacht an chaidéil a fheabhsú agus laghdaíonn sé an t-ualach ar an bpríomhchaidéal.
Sciatháin agus Difusers: Tá na comhpháirteanna seo deartha chun sreabhadh gáis a stiúradh agus dinimic gáis a bhainistiú laistigh den chóras, ag laghdú suaiteachta agus ag cuidiú leis an bpróiseas aslonnaithe.
Gabhálais: Is féidir gabhálais éagsúla a chomhtháthú i gcóras bhfolús ag brath ar a chur i bhfeidhm. Féadfaidh sealbhóirí samplacha, eilimintí teasa nó fuaraithe, agus ionstraimíocht le haghaidh faireacháin agus anailíse in-situ a áireamh orthu sin.
Go hachomair, feidhmíonn córas folúis trí thimpeallacht rialaithe a chruthú le brú laghdaithe trí úsáid a bhaint as comhpháirteanna speisialaithe a oibríonn le chéile. Feidhmíonn an caidéal folúis mar chroí-chomhpháirt, agus tá ról ríthábhachtach ag an seomra folúis, córais tomhais brú agus rialaithe, comhlaí agus comhpháirteanna eile chun an leibhéal folúis atá ag teastáil a bhaint amach agus a chothabháil. Athraíonn dearadh agus comhtháthú na gcomhpháirteanna seo bunaithe ar an bhfeidhm shonrach, cibé an déantúsaíocht leathsheoltóra, turgnaimh thaighde, nó insamhaltaí spáis é. Cuireann an dul chun cinn leanúnach atá déanta ar theicneolaíocht an chórais folúis lenár gcumas thar réimsí iomadúla eolaíocha, tionsclaíocha agus teicneolaíochta.
